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ミニチュアB-Aゲージ測定球

ミニチュアB-Aゲージ測定球

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ガラス製ゲージ球の大きく、割れやすいという欠点を除いた金属製の全く新しい小型ゲージ球です。
取り付け場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等のゲージの性能を損なう事無く小型化されており、到達圧力からスパッタなどのプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が１つのゲージで行えます。

【メーカー】
キヤノンアネルバ


φ15アダプタ MG-2 46,200円 お問合わせ下さい お問い合せ
φ70ICF MG-2F 52,800円 お問合わせ下さい お問い合せ
φ18アダプタ MG-2M 49,500円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【仕様】

ボディ材質　　　　　　：SUS304
測定上限圧力　　　　　：13Pa
測定下限圧力　　　　　：10-6Pa台(MG-2,MG-2M)
　　　　　　　　　　　　10-7Pa台(MG-2F)
感度　　　　　　　　　：0.045Pa-1
フィラメント　　　　　：フィラメント２本内蔵
　　　　　　　　　　　　フィラメント材：イットリアコートイリジウム線
測定球容積　　　　　　：約12cc
所要電力　　　 　　　　ﾌｨﾗﾒﾝﾄ：2.3W
　　　　　　　　　　 　ｸﾞﾘｯﾄﾞﾃﾞｶﾞｽ：1.0W
取り付け方法　　　　　：φ15ゲージアダプタまたは、各種フランジに溶接可(MG-2)
　　　　　　　　　　　　φ18ゲージアダプタ(MG-2M)
　　　　　　　　　　　　φ70ICFフランジに接続(MG-2F)

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