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ミニチュアB-Aゲージ測定球

ミニチュアB-Aゲージ測定球

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ガラス製ゲージ球の大きく、割れやすいという欠点を除いた金属製の全く新しい小型ゲージ球です。
取り付け場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等のゲージの性能を損なう事無く小型化されており、到達圧力からスパッタなどのプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が1つのゲージで行えます。

【メーカー】
キヤノンアネルバ


φ15アダプタ MG-2 37,400円 お問合わせ下さい お問い合せ
φ70ICF MG-2F 42,900円 お問合わせ下さい お問い合せ
φ18アダプタ MG-2M 42,900円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】

ボディ材質      :SUS304
測定上限圧力     :13Pa
測定下限圧力     :10-6Pa台(MG-2,MG-2M)
            10-7Pa台(MG-2F)
感度         :0.045Pa-1
フィラメント     :フィラメント2本内蔵
            フィラメント材:イットリアコートイリジウム線
測定球容積      :約12cc
所要電力        フィラメント:2.3W
            グリッドデガス:1.0W
取り付け方法     :φ15ゲージアダプタまたは、各種フランジに溶接可(MG-2)
            φ18ゲージアダプタ(MG-2M)
            φ70ICFフランジに接続(MG-2F)