【仕様】
| ターボ分子ポンプ |
TMP-203LM |
TMP-203M |
| 吸気口側フランジ |
VG100 / ICF152 |
| 排気口側フランジ |
KF25 |
| 冷却方法 |
水冷 |
空冷 |
| 到達圧力 （ベーキング後） （注1） |
10-8 Pa オーダ |
10-8 Pa オーダ |
| N2連続運転時の最大吸気口圧力 |
200 Pa |
1.3 Pa |
| 連続運転時の最大排気口圧力 |
400 Pa |
40 Pa |
排気速度 （注2）
|
N2
He
H2 |
190 L/s
140 L/s
120 L/s |
圧縮比
|
N2
He
H2 |
1×109
6×104
4×103 |
| 規定回転数 |
50000 rpm |
| 起動時間 |
5分以内 |
| 取り付け方向 |
全方位取り付け可能 |
| ポンプ吸気口ベーキング温度 |
120 ℃以下 |
| 振動 ［弊社測定方法による］ |
0.012 μm 以下 （片振幅） |
| 推奨ガスパージ流量 |
20 〜 30 mL/min （注3） |
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 |
200 L/min 以上 |
| 許容周囲温度 |
0 〜 40 ℃ |
許容磁束密度
|
半径方向
軸方向 |
3 mT
15 mT
|
冷却水
|
流量
水圧
水温 |
1 〜 3 L/min
0.2 〜 0.5 MPa
5 〜 30 ℃ |
― |
| 質量 |
9 kg |
| ターボ分子ポンプ |
TMP-303LM |
TMP-303M |
| 吸気口側フランジ |
VG100 / ICF152 |
| 排気口側フランジ |
KF25 |
| 冷却方法 |
水冷 |
空冷 |
| 到達圧力 （ベーキング後） （注1） |
10-8 Pa オーダ |
10-8 Pa オーダ |
| N2連続運転時の最大吸気口圧力 |
200 Pa |
1.3 Pa |
| 連続運転時の最大排気口圧力 |
400 Pa |
40 Pa |
排気速度 （注2）
|
N2
He
H2 |
320 L/s
340 L/s
320 L/s |
圧縮比
|
N2
He
H2 |
1×109
8×104
1×104 |
| 規定回転数 |
45000 rpm |
| 起動時間 |
5分以内 |
| 取り付け方向 |
全方位取り付け可能 |
| ポンプ吸気口ベーキング温度 |
120 ℃以下 |
| 振動 ［弊社測定方法による］ |
0.012 μm 以下 （片振幅） |
| 推奨ガスパージ流量 |
20 〜 30 mL/min （注3） |
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 |
200 L/min 以上 |
| 許容周囲温度 |
0 〜 40 ℃ |
許容磁束密度
|
半径方向
軸方向 |
3 mT
15 mT
|
冷却水
|
流量
水圧
水温 |
1 〜 3 L/min
0.2 〜 0.5 MPa
5 〜 30 ℃ |
─ |
| 質量 |
14 kg |
| ターボ分子ポンプ |
TMP-403LM |
TMP-403M |
| 吸気口側フランジ |
VG150 / ICF203 |
| 排気口側フランジ |
KF25 |
| 冷却方法 |
水冷 |
空冷 |
| 到達圧力 （ベーキング後） （注1） |
10-8 Pa オーダ |
10-8 Pa オーダ |
| N2連続運転時の最大吸気口圧力 |
200 Pa |
1.3 Pa |
| 連続運転時の最大排気口圧力 |
400 Pa |
40 Pa |
排気速度 （注2）
|
N2
He
H2 |
420 L/s
360 L/s
340 L/s |
圧縮比
|
N2
He
H2 |
1×109
8×104
1×104 |
| 規定回転数 |
45000 rpm |
| 起動時間 |
5分以内 |
| 取り付け方向 |
全方位取り付け可能 |
| ポンプ吸気口ベーキング温度 |
120 ℃以下 |
| 振動 ［弊社測定方法による］ |
0.012 μm 以下 （片振幅） |
| 推奨ガスパージ流量 |
20 〜 30 mL/min （注3） |
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 |
200 L/min 以上 |
| 許容周囲温度 |
0 〜 40 ℃ |
許容磁束密度
|
半径方向
軸方向 |
3 mT
15 mT
|
冷却水
|
流量
水圧
水温 |
1 〜 3 L/min
0.2 〜 0.5 MPa
5 〜 30 ℃ |
─ |
| 質量 |
14 kg |
| ターボ分子ポンプ |
TMP-803LM |
TMP-803M |
| 吸気口側フランジ |
VG150 / ICF203 |
| 排気口側フランジ |
KF40 |
| 冷却方法 |
水冷 |
空冷 |
| 到達圧力 （ベーキング後） （注1） |
10-9 Pa オーダ |
10-9 Pa オーダ |
| N2連続運転時の最大吸気口圧力 |
400 Pa |
1.3 Pa |
| 連続運転時の最大排気口圧力 |
665 Pa |
40 Pa |
排気速度 （注2）
|
N2
He
H2 |
800 L/s
800 L/s
700 L/s |
圧縮比
|
N2
He
H2 |
1×109 以上
8×104
4×103 |
| 規定回転数 |
35000 rpm |
| 起動時間 |
5分以内 |
| 取り付け方向 |
全方位取り付け可能 |
| ポンプ吸気口ベーキング温度 |
120 ℃以下 |
| 振動 ［弊社測定方法による］ |
0.01 μm 以下 （片振幅） |
| 推奨ガスパージ流量 |
20 〜 30 mL/min （注3） |
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 |
500 L/min 以上 |
| 許容周囲温度 |
0 〜 40 ℃ |
許容磁束密度
|
半径方向
軸方向 |
3 mT
15 mT
|
冷却水
|
流量
水圧
水温 |
1 〜 3 L/min
0.2 〜 0.5 M Pa
5 〜 30 ℃ |
─ |
| 質量 |
33 kg |
| ターボ分子ポンプ |
TMP-1003M |
| 排気口側フランジ |
KF40 |
| 冷却方法 |
空冷 |
| 到達圧力 （ベーキング後） （注1） |
10-9 Pa オーダ |
| N2連続運転時の最大吸気口圧力 |
1.3 Pa |
| 連続運転時の最大排気口圧力 |
40 Pa |
排気速度 （注2）
|
N2
He
H2 |
1080 L/s
930 L/s
790 L/s |
圧縮比
|
N2
He
H2 |
1×109
8×104
4×103 |
| 規定回転数 |
35000 rpm |
| 起動時間 |
5分以内 |
| 取り付け方向 |
全方位取り付け可能 |
| ポンプ吸気口ベーキング温度 |
120 ℃以下 |
| 振動 ［弊社測定方法による］ |
0.01 μm 以下 （片振幅） |
| 推奨ガスパージ流量 |
20 〜 30 mL/min （注3） |
| ガスパージ時の推奨補助ポンプの排気速度 |
500 L/min 以上 |
| 許容周囲温度 |
0 〜 40 ℃ |
許容磁束密度
|
半径方向
軸方向 |
3 mT
15 mT
|
| 質量 |
32 kg 以下 |
| （注1） |
吸気口フランジに金属ガスケットを使用した場合の値です。
Oリングガスケットを使用した場合は，到達圧力は10-7 Pa オーダとなります。 |
| （注2） |
保護ネットなしの場合の値です。保護ネットを使用した場合はN2ガスに対する排気速度は180 L/sとなります。 |
| （注3） |
mL/minは0 ℃，1気圧での体積流量で表示しています。 （SCCM表記と等価です。） |
