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エアリークバルブ

エアリークバルブ

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真空チャンバーの大気開放用
1.超高真空領域用
・10-7Pa程度の超高真空領域までご使用になれます

2.優れた許容加熱性
・125℃までのベークアウトができます。


【メーカー】
キヤノンアネルバ


NW25 951-7192 31,900円 お問合わせ下さい お問い合せ
φ70ICF 951-7190 33,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ 

【仕様】
使用真空領域      大気圧〜10-7Pa程度
バルブ全閉時リーク量  6.7×10-11pa・m3/sec以下
オリフィス径      φ10mm
許容加熱温度      125℃
主要部材質       真空シール材:フッ素ゴム(バイトン)Oリング
            バルブボディ:SUS304
            弁体    :SS34(NIメッキ)
接続フランジ      φ70ICF(951-7190)
            NW25(951-7192)
質量          0.5kg