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磁気軸受式STPターボ分子ポンプセット

磁気軸受式STPターボ分子ポンプセット

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完全磁気浮上式STPターボ分子ポンプUHVシリーズは、全翼回転翼を搭載した超高真空対応のターボ分子ポンプです。

【用途】
・ 電子顕微鏡
・ 表面分析装置
・ 質量分析装置
・ 加速器
・ 核融合実験装置
・ 半導体製造装置
(イオン注入、ドライエッチ、MBE)


※コントローラ一体型のSTP-ixシリーズはお問い合わせください。


300L/s STP-301 2,717,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
480L/s STP-451 2,937,000円 お問合わせ下さい お問い合せ
650L/s STP-603 3,482,600円 お問合わせ下さい お問い合せ
1000L/s STP-1003 3,922,600円 お問合わせ下さい お問い合せ
※表示価格は税込みです。 ※数量は半角でご入力下さい。
※送料等は"ご利用ガイド"へ　

【セット内容】
・本体
・コントローラー
　301/451用：YT21Z0Z01
　603/1003用：YT95Z0Z00
・電源ケーブル
　301/451用：B70700090(3m)
　603/1003用：PT49Y0A00(5m)
・接続ケーブル
　301/451用：B70700010(3m)
　603/1003用：YT75130020(5m)