真空ポンプ
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ソフトウエア
超高真空エバポレーター AEV-3セット
￥4,857,600 ～
超高真空エバポレーター AEV-11セット
￥3,238,400 ～
アルカリ金属用エバポレーターセット
￥1,248,500 ～
1インチスパッタガン (高真空タイプ/UHVタイプ)
￥770,000 ～￥638,000 ～
2インチスパッタガン (高真空タイプ/UHVタイプ)
￥924,000 ～￥770,000 ～
100W 高周波電源
￥42,900 ～
300W 高周波電源
300W 自動整合器
￥990,000 ～
アルミナコート蒸着ボート
￥88,000 ～
アルミナコート タングステンバスケット
￥123,200 ～
アルミナコート タンタルボートセット
￥73,700 ～
