分析表面分析

RHEED 反射高速電子線回折装置

￥3,575,000 ～

イオンガンセット

￥263,560 ～

kSA BandiT　リアルタイムウェハ温度モニター

￥12,056,000 ～

kSA BandiT

￥16,489,000 ～

kSA MOS　薄膜応力＆歪みリアルタイム測定システム

￥1,419,000 ～

スクリーンホルダ　ASH

￥220,000 ～

AFM用ダイヤモンドカンチレバー

￥55,000 ～

超コンパクト FT-IR

￥5,808,000 ～

交換用RHEEDスクリーン ASシリーズ

￥154,000 ～

触針式プロファイリングシステム　Dektak XTシリーズ

￥11,993,300 ～

ビームアラインメントSi基板(シリケート入りP43蛍光材コーティング)

￥217,800 ～

RHEED回折像解析システム　kSA400