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二次元平行配列レーザービームをサンプルに照射して、CCDカメラによる各ビームスポット位置検出により、ビームスポット間距離の変化を測定し、ウェハひずみ・応力・反射率・成長率・膜厚・光学定数(n,k)をリアルタイムで高精度に測定ができます。
k-Space Associates, Inc.
※表示価格は税込みです
kSAMOS
販売価格：￥18,645,000
option
膜厚レート測定オプション
参考価格：￥1,419,000
販売価格：お問合わせ下さい
