蒸着・スパッタ源
超高真空エバポレーター AEV-3セット
3源同時蒸着可能!!(AEV-3P-300の場合)
・AEV-11と同じ蒸発源をφ70ICFに3源搭載したモデルになります。
・3源全てが独立しているので、3源同時蒸着が可能です。
また、材料移動機構により、長期間超高真空を破ることなく実験を行うことができます。
・AEV-11と同じ蒸発源をφ70ICFに3源搭載したモデルになります。
・3源全てが独立しているので、3源同時蒸着が可能です。
また、材料移動機構により、長期間超高真空を破ることなく実験を行うことができます。
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
超高真空3源エバポレーター電子銃本体
取付フランジ：ICF70-FH L=190mm
手動シャッター付き
蒸発材料移動機構付き
水冷シュラウド付き
AEV超高真空エバポレータ用制御電源
JIS-H149 300W (1KV/300mA)
AEV専用ケーブル5m付き
ルツボは別途オプションになります。
※3源同時蒸着の場合は電源が3台必要です。
※表示価格は電源1台の時の価格となります。
取付フランジ：ICF70-FH L=190mm
手動シャッター付き
蒸発材料移動機構付き
水冷シュラウド付き
AEV超高真空エバポレータ用制御電源
JIS-H149 300W (1KV/300mA)
AEV専用ケーブル5m付き
ルツボは別途オプションになります。
※3源同時蒸着の場合は電源が3台必要です。
※表示価格は電源1台の時の価格となります。