蒸着・スパッタ源
1インチスパッタガン (高真空タイプ/UHVタイプ)
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AVC30周年記念スパッタガンキャンペーン実施中！
キャンペーン特別価格期間：2026年12月24日まで
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株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
ASG-1 (高真空タイプ)
| 取付フランジ |
ICF70フランジ付ゲージアダプタ ※高真空タイプに関しては、スパッタガン本体の価格になります。(フランジなし) ※フランジに接続の場合は、ダブルOリングアダプターAQPシリーズが別途必要です。 |
|---|---|
| カソードサイズ | φ36 |
| 取付可能ﾀｰｹﾞｯﾄｻｲｽﾞ | 非磁性φ1"/ t5(※1) Max 磁性材φ1"/ t1 Max ※1熱伝導率が低い材料の場合、3mm以下を推奨。(詳細は、ご相談下さい。) |
| 最大入力 | 100W (RF / DC) |
| 入力コネクタ | N型 |
| ガイドパイプ径 | φ19 |
| 冷却水 | 1L/min以上（φ1/4”SWG継手） |
| ベーキング | ≦150℃ |
ASG-1-UHV (UHVタイプ)
| 取付フランジ | ICF70-FH |
|---|---|
| カソードサイズ | φ36 |
| 取付可能ﾀｰｹﾞｯﾄｻｲｽﾞ | 非磁性φ1"/ t5(※1) Max 磁性材φ1"/ t1 Max ※1 熱伝導率が低い材料の場合、3mm以下を推奨。(詳細はご相談下さい。) |
| 最大入力 | 100W (RF / DC) |
| 入力コネクタ | N型 |
| 冷却水 | 1L/min.以上（φ1/4”SWG継手） |
| ベーキング | ≦150℃ |