蒸着・スパッタ源

超高真空エバポレーター AEV-11セット

省スペース・シンプル設計
内蔵フラックスモニターによるレートコントロール
蒸発材料移動機構付き
蒸着エリアの変更可能!!(アパーチャー取り替えにより可能)

製品詳細

株式会社エイブイシー

※表示価格は税込みです

AEV-11_set

販売価格:¥3,238,400

数 量:
超高真空1源エバポレーター電子銃本体
取付フランジ:ICF70-FH L=195~300mmで選択
手動シャッター付き
蒸発材料移動機構付き
水冷シュラウド付き

AEV超高真空エバポレータ用制御電源
JIS-H149 300W (1KV/300mA)
AEV専用ケーブル5m付き
ルツボは別途オプションになります。