蒸着・スパッタ源
2インチスパッタガン (高真空タイプ/UHVタイプ)
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AVC30周年記念スパッタガンキャンペーン実施中！
キャンペーン特別価格期間：2026年12月24日まで
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株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
ASG-2 (高真空タイプ)
| 取付フランジ | ICF114〜選択可/Oリングシール(位置調整可能) ※価格はスパッタガン本体の価格になります。(フランジなし) ※フランジに接続の場合は、ダブルOリングアダプターAQPシリーズが別途必要です。 |
|---|---|
| カソードサイズ | φ63 |
| 取付可能ターゲットサイズ | 非磁性φ2" / t5 Max 磁性材φ2" /t1 Max |
| 最大入力 | 300W (RF / DC) |
| 入力コネクタ | HN型 |
| ガイドパイプ径 | φ19 |
| 冷却水 | 2L/min.以上（φ1/4”SWG継手） |
| ベーキング | ≦150℃ |
ASG-2-UHV (UHVタイプ)
| 取付フランジ | ICF114-FH |
|---|---|
| カソードサイズ | φ63 |
| 取付可能ターゲットサイズ | 非磁性φ2" / t5 Max 磁性材φ2" /t1 Max |
| 最大入力 | 300W (RF / DC) |
| 入力コネクタ | HN型 |
| 冷却水 | 2L/min.以上（φ1/4”SWG継手） |
| ベーキング | ≦150℃ |