蒸着・スパッタ源
300W 高周波電源
※自動整合器が別途必要になります。
※ケーブルはRG-8U、両端N-Pコネクタ付き
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 周波数 | 13.56MHz ±1kHz |
|---|---|
| 出力電力 | 0～300W（300W連続） |
| 出力コネクタ | N型 |
| 出力安定度 | ±1% （電源電圧±5%時） |
| 出力インピーダンス | 50Ω |
| 入力 | 200VAC 単相 50～60Hz （900W最大） |
| 冷却 | 強制空冷 |
| 寸法 | H134ｘW358ｘD270 |
※ASG300P～ASG300M間ケーブル3m付