**用途**
・自動化真空装置の圧力計測
・スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
・マルチチャンバシステムでの圧力測定
・一般真空装置の圧力測定
【仕様】 測定球 | UGD-1S B-Aゲージ球 |
圧力測定レンジ | 5レンジ自動切替
10-2､10-3､10-4､10-5､10-6Pa |
測定レンジ切換 | 自動切換え(レンジホールド可) |
ガス出し | グリッド通電加熱方式 |
フィラメント切替 | 前面パネルと外部制御入力により切換可 |
フィラメント保護 | 圧力、イオン電流、エミッション電流の変動幅の
いずれかに問題があると自動的にOFFする。 |
アナログ出力 | D/A出力(仮数部D/A出力、指数部D/A出力、複合D/A出力)
アナログ生出力(エレクトロメータ出力) |
I/Oリモート | INPUT | ﾌｨﾗﾒﾝﾄON/OFF入力、デガスON/OFF入力、ﾌｨﾗﾒﾝﾄｲﾝﾋﾋﾞｯﾄ入力
ﾚﾝｼﾞﾎｰﾙﾄﾞ1入力、ﾚﾝｼﾞﾎｰﾙﾄﾞ2入力、ﾌｨﾗﾒﾝﾄ切換入力、
ｹﾞｰｼﾞ1/2切換入力(ｹﾞｰｼﾞｾﾚｸﾀｵﾌﾟｼｮﾝ使用時) |
OUTPUT | ﾌｨﾗﾒﾝﾄON/OFF出力、デガスON/OFF出力、ﾘﾓｰﾄ/ﾛｰｶﾙ出力、
ｾｯﾄﾎﾟｲﾝﾄ出力(2点)、ｹﾞｰｼﾞ1/2セレクト出力(ｹﾞｰｼﾞｾﾚｸﾀｵﾌﾟｼｮﾝ使用時)、
ﾊﾟﾜｰON/OFF出力、ﾌｨﾗﾒﾝﾄ1/2出力、ｱﾗｰﾑ出力 |
セットポイント | 2セットポイント標準装備(オープンコレクタ) |
外形寸法(mm) | H99×W209×D330 |
所要電力 | AC100±10％2A、50/60Hz (AC115/200/230Vにも対応可能) |
質量 | 5.4g |
【セット内容】
M-723HG電離真空計
B-Aゲージ球 UGD-1S
ケーブル5m
