真空バルブ
UHVゲートバルブ (圧空作動式)
最新のVATLOCK機構により極小ショックによる閉動作、最小磨耗を実現.
超高真空対応の最適・標準バルブです。
電磁弁、リミットスイッチ付。
超高真空対応の最適・標準バルブです。
電磁弁、リミットスイッチ付。
VAT Japan株式会社
※表示価格は税込みです
圧空作動式：複動シリンダー リミットスイッチ付、電磁弁付
| リーク量 －ボディ －バルブシート |
＜5・10-11Pa m3 s-1 ＜1・10-10Pa m3 s-1 |
|---|---|
| 使用圧力範囲 | 1・10-8Pa to 0.16MPa(abs) |
| ゲートにかかる許容最大差圧 | ≦0.16MPa in either direction |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦30 hPa |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 50,000 |
| ベークアウト温度 －バルブボディ －圧空アクチュエータ －リミットスイッチ －電磁弁 |
≦250℃ open、200℃ closed ≦200℃ ≦80℃ ≦50℃ |
| 加熱及び冷却速度 | ≦50℃ ｈ-1 |
| シール ゲート |
metal VITON(vulcanized) |