真空バルブ
ミニUHVゲートバルブ Series 01.0
ICF70UHVバルブMONOVAT機構により、最小限のパーティクル発生
長いサイクルライフが特徴。
長いサイクルライフが特徴。
VAT Japan株式会社
※表示価格は税込みです
手動式：ハンドホイール
| リーク量 ボディシート | ＜５・１０-11Pa ｍ3ｓ-1＜１・１０-10-Pa ｍ3ｓ-1 |
|---|---|
| 使用圧力範囲 | １・１０-8Pa to 0.2MPa(abs) |
| ゲートにかかる許容最大差圧 | ≦0.2MPa in either direction |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦30 hPa |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | ５０，０００ |
| ベークアウト温度 バルブボディ 手動アクチュエータ | ≦２５０℃ open、200℃ closed ≦２５０℃ |
| 加熱及び冷却速度 | ≦5０℃ ｈ-1 |
| 材質 バルブボディ、フランジ ゲート ベローズ | AISI304(1.4301)/AISI316L(1.4435) AISI304(1.4301) AISI316L(1.4435) |
| シール ボンネット ゲート | metal VITON(vulcanized) |