分析
四重極型質量分析計用RS232Cケーブル
蒸着装置成膜前の残留ガス分析に最適
日本語表示、WINDOWSエクスプローラーに準拠した表示で初めての方にも操作が簡単です。
ユーザーフレンドリーな操作性の良さを随所にちりばめています。
・分析管の低放出ガス化、耐食性を更にアップ!!
・QUADVISIN2による操作性の良さ
・質量分析計の操作性を追求
※四重極型質量分析計用RS-232Cケーブル（1.5m、3m、5m、10m）が別途必要になります。下記価格表より選択下さい。
日本語表示、WINDOWSエクスプローラーに準拠した表示で初めての方にも操作が簡単です。
ユーザーフレンドリーな操作性の良さを随所にちりばめています。
・分析管の低放出ガス化、耐食性を更にアップ!!
・QUADVISIN2による操作性の良さ
・質量分析計の操作性を追求
※四重極型質量分析計用RS-232Cケーブル（1.5m、3m、5m、10m）が別途必要になります。下記価格表より選択下さい。
キヤノンアネルバ株式会社
※表示価格は税込みです
| 質量数 | 1 ～ 70amu |
|---|---|
| 分解能 | 1a.m.u @ 10%PH |
| 最大動作圧力 | 2.7×10-2Pa |
| 感度(N2) | 1.9×10-6 A/Pa |
| 最小検知分圧 | 6.7×10-9Pa |
| 分析管ベーク温度 | 250℃ |
| イオン源 | カゴ型イオン源 |
| フィラメント | イットリアコートイリジウムフィラメント 2本 |
| 接続フランジ | φICF70 |
| 所要電力 | AC 90 ～ 240V 60W |
| 質量 (分析管 / コントローラ) | 1.5kg / 2.1kg |
| 通信インターフェイス | RS-232C / RS485 |
| ソフトウェア | QUADVISION2 |
【用途】
- 残留ガスモニタ
- 加速器等の真空モニタ
- 無機ガス分析
- 昇温脱離ガス分析