真空バルブ
低リークニードルバルブ
【特長】
■厳しいリーク規格(2×10-8Pa/m3/sec)
■精密ニードル使用
■優れた温度特性
【用途】
□真空装置に
□半導体製品装置に
□有毒・腐食性ガスラインに
※使用流体はN2で記載しておりますが、他のガスでも製作可能です。
※ご注文の際にはご使用の圧力の指定をお願いいたします。
■厳しいリーク規格(2×10-8Pa/m3/sec)
■精密ニードル使用
■優れた温度特性
【用途】
□真空装置に
□半導体製品装置に
□有毒・腐食性ガスラインに
※使用流体はN2で記載しておりますが、他のガスでも製作可能です。
※ご注文の際にはご使用の圧力の指定をお願いいたします。
コフロック株式会社
※表示価格は税込みです
| 調節ネジ回転数 | 約13～16回転(ただし有効回転数は5～16回転) |
|---|---|
| 最大使用圧力 | 1MPa |
| 最高使用温度 | 120℃ |
| 対象 | ガス、液体 |
| 流体接触部材質 | SUS316、フッ素樹脂、フッ素ゴム |
| 接続口 | 1/4SWL |