真空バルブ
HVゲートバルブ Series 091
メカニカルブースターポンプの仕切用として最適!
VAT Japan株式会社
※表示価格は税込みです
| リーク量 | |
|---|---|
| -ボディ | ＜1・10-10Pam3s-1 |
| -バルブシート | ＜1・10-8Pam3s-1 |
| 使用圧力範囲 | 1・10-7Pa to 0.12MPa（abs） |
| ゲートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.12MPa（両方向） |
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≦0.1MPa |
| ベローズ軸シールのサイクル数 | 100,000 |
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 5,000 1) |
| 許容温度 2) | |
| -バルブボディ | ≦120℃（150℃ on request） |
| -手動/圧空アクチュエータ | ≦100℃ |
| 材質 | |
| -バルブボディ | AISI 304（1.4301） |
| -ゲート | AISI 304（1.4301、1.4308） |
| -ベローズ | AISI633（AM 350） |
| -小部品（接触にかかわる部材） | A2 Ni Teflon-coated, PEEK |
| シール：ゲート、ボンネット | FKM（VITON®） |
| 取付け方向 | 自由 |
2) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。