真空バルブ
高真空アングルバルブ (電磁式、アルミボディ)
圧空作動使用ができない環境で使用可能
電磁作動式で、コンダクタンスが大きいので充分な排気速度が得られます。
大きな差圧耐圧も特長です。
リミットスイッチ付、電源装置付。
※ご購入の際は、電源電圧をAC100V又は200Vから指定して下さい。
VAT Japan株式会社
※表示価格は税込みです
| リーク量 | ＜1・10-10Pa m3S-1 |
|---|---|
| 使用圧力範囲 | 10-6Pa to 0.2MPa |
| 許容最大圧力 | 0.2MPa |
| 動作温度 | 0-50℃ |
| 第一回サービスまでのサイクル数 | 200,000 |