HELEN Heリークディテクタ
◎各種真空装置の検査、フィールドサービスに最適
◎小型の各種真空部品のリークテスト
1.イージーオペレーション
・ボタン操作一つで機器の立ち上げから測定までが行えます。試験体に応じて最適な条件を設定し、簡単にリークテストが行え、感度校正も全て自動で行えます。
2.業界最高レベルの感度、安定性、応答性を実現
・偏向角度180°の質量分析管を採用。ヘリウムイオンの増幅にMCPを搭載
・標準機でも10-12Pa・m3/Sの高感度と長時間の使用に対しても高い安定性を実現
※デモの申し込みを承っております。
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キヤノンアネルバ株式会社
※表示価格は税込みです
| 型名 | Mー212LD |
|---|---|
| バージョン | コンパクト |
| 定量測定範囲 (pa・m3/s) | 10-12~10-3 |
| インレットポート排気速度(He) | 0.5L/s (Gross Mode) 2.0L/s (Middle Mode) |
| インレットポート形状 | NW25 (ISO) |
| メインポンプ | TMP 50L/s |
| 粗引きポンプ | RP 30L/min |
| 外部インターフェース | RS-232C, Analog I/O |
| 表示 | カラー液晶 |
| スニファプローブ | オプション |
| 所要電力 | 100V AC 10A |
| 外径寸法(W×H×D) | 435×487×363 |
| 質量 | 42kg |























































