真空バルブ

圧空式ゲートバルブ(SUSボディ)

ICF70UHVゲートバルブ
電磁弁・リミットスイッチ付

単動シリンダーNCなので停電時はスプリングによりフルクローズ

VAT Japan株式会社

※表示価格は税込みです

リーク量　－ボディ　－バルブシート	＜5・10^-11Pa m³ s^-1 ＜1・10^-10Pa m³ s^-1
使用圧力範囲	1・10^-8Pa to 0.2MPa(abs)
ゲートにかかる許容最大差圧	≦0.2MPa（両方向）
バルブを開ける時の許容最大差圧	≦30 hPa
第１回サービスまでのサイクル数	50,000
許容温度　－バルブボディ　－手動アクチュエータ　－圧空アクチュエータ　－リミットスイッチ　－電磁弁	≦250℃（バルブ開）、≦200℃（バルブ閉） ≦250℃ ≦200℃ ≦80℃ ≦50℃
加熱および冷却速度	≦50℃ ｈ^-1
材質　－バルブボディ、フランジ　－ゲート　－ベローズ	AISI 304（1.4301）/AISI316L（1.4435） AISI 304（1.4301） AISI 316L（1.4435）
シール材料　－ボンネット　－ゲート	メタル FKM（VITON^®、vulcanized）
取付け方向	自由

1) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。