加圧防止リリーフ弁ストップバルブ付

チェンバーの加圧防止+バルブ　により、一次側ガスラインと仕切ることができる

・N₂パージライン等へ接続することで、真空チェンバーを加圧することがなく保護できます。
・バルブにて一次側パージライン等を仕切る事が可能です。