真空バルブ
真空ゲートバルブseries12
真空バルブの標準バルブ
低価格でメンテナンスが容易
低価格でメンテナンスが容易
VAT Japan株式会社
※表示価格は税込みです
| リーク量 | 1×10-10Pam3S-1 |
|---|---|
| 使用圧力範囲 | 1×10-5Pa～0.16MPa |
| ゲートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.12MPa |
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≦30hPa |
| 第一回サービスまでのサイクル数 | 200,000 |
| 許容温度 | |
| バルブ | ≦120℃ |
| アクチュエータ | ≦80℃ |
| リミットスイッチ | ≦80℃ |
| 電磁弁 | ≦50℃ |
| 材質（ボディ） | アルミニウム |
| シール材（ゲート、ボンネット） | FKM(VITON) |
| 取り付け方向 | 自由 |