膜厚計
薄膜蒸着用コントローラ オシレーターキット
2chのQCMセンサーをモニターでき、同時に2chのPIDソースコントロール出力と8個のデジタルI/Oを持っています。オプションの拡張カードを追加することにより、能力容量を2倍にすることが出来ます。
オプションの共蒸着制御を追加することにより、最大4ソースまでの同時/共蒸着制御が可能です。
オプションの共蒸着制御を追加することにより、最大4ソースまでの同時/共蒸着制御が可能です。
インフィコン株式会社
※表示価格は税込みです
【測定】
| QCMセンサー | 2ch標準,4chオプション |
|---|---|
| 周波数範囲 | 4〜6MHz |
| 周波数分解能 | ±0.03Hz |
| 周波数安定性 | ±2ppm (0～50℃) |
| 測定間隔 | 0.10～1.0sec |
| レート表示分解能 | 0.01Å/se |
【制御】
| プロセス | 100プロセス、1000層、50フィルム、共蒸着4ソース(オプション) |
|---|---|
| ソース制御出力 | 2ch |
| 出力シグナル | 0～±10VDC, 15ビット分解能 |
| デジタルI/O | 8個標準 |
| 入力 | 5VDC非絶縁 |
| 出力リレー | SPSTフォーム1A, 30V, 2A(最大) |