膜厚計
多層膜蒸着用 膜厚・レートモニター オシレーターキット
蒸着レートと膜厚の2つのアナログレコーダー出力があります。センサー入力は異なる材料用に複数割り当てられます。また大きな蒸着システムにおいては、正確な蒸着測定のために平均化測定が出来ます。
インフィコン株式会社
※表示価格は税込みです
| センサー入力 | 2ch標準 , 6chオプション |
|---|---|
| 周波数範囲 | 6.5〜1.0MHz |
| 周波数分解能 | ±0.30Hz(標準), ±0.03Hz(高分解能), |
| 測定時間 | 0.10～2sec |
| メモリ保存膜数 | 99 |
| アナログ出力 | 2点 0〜5V DC |
| デジタルI/O | 4点入力,4点リレー出力 |
| インターフェイス | RS-232(標準)、USB or Ethernet(オプション) |
| 電源 | 100～120/200～240VAC、50/60Hz、20W |