薄膜蒸着コントローラー
・強力なプロセスレシピとデータ管理機能
・迅速なセットアップに寄与する
Auto Tune機能
・再現性に優れたマルチセンサー測定
・精密な同時蒸着
※その他オプションについてはお問い合せ下さい。
インフィコン株式会社
※表示価格は税込みです
| 周波数範囲 | 6.0〜4.5MHz |
|---|---|
| 周波数分解能 | ±0.0035Hz@6MHz |
| 測定間隔 | 0.1sec |
| メモリ保存膜数 | 99 |
| 膜厚レート分解能 | ±0.00433Å |
真空計・圧力計
超高真空マニピュレータ
ガス導入系
蒸着・スパッタ源
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膜厚計
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リークディテクタ
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| 周波数範囲 | 6.0〜4.5MHz |
|---|---|
| 周波数分解能 | ±0.0035Hz@6MHz |
| 測定間隔 | 0.1sec |
| メモリ保存膜数 | 99 |
| 膜厚レート分解能 | ±0.00433Å |