CAMPAIGN 膜厚計

膜厚/蒸着レートモニター

・低価格の装置
・USB接続
・内蔵型オシレータ
・高精度で毎秒10回の測定
・外部オシレータに対応

付属のソフトウェアにて、データロギング、グラフ表示、蒸着パラメーターの設定が行えます。

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online shop リニューアルキャンペーン実施中！
(※5台限定)
キャンペーン特別価格期間：2026年12月24日まで
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インフィコン株式会社

※表示価格は税込みです

センサー種類	シングルQCMセンサー（シャッター制御はできません）
センサー入力数	STM-2×1台に付きセンサー×１台
センサー入力端子	BNCメスコネクタ
使用可能な水晶振動子	6　MHz
周波数分解能	±0.03Hz
測定間隔	0.10　s
基準周波数の安定性	±2ppm
膜厚とレートの分解能/測定	±0.037Å（Tooling Faactor=100、密度=1、Z ratio=1、6　MHzの場合）
膜厚の表示の分解能	1Å（ソフトウェアでの表示のみ）
インターフェース	400mA、5V　DCの給電が可能なv1..1以降のUSB
寸法	11.4×7.6×2.5cm（4.5×3×1インチ）
質量	57g
コンピュータ要件	Windows 2000以降のMicrosoft のいずれかのOSを実行しているパソコンで、１台のSTM-2につき１つのUSB1.1以降のポートを使用できること。