真空計・圧力計
クリスタル/コールドカソードゲージ CC-10
広帯域計測がこの１台で！
1.0×10-7～1.0×105Pa
測定原理の異なる真空計を組み合わせることで広範囲の圧力領域測定を可能にしました。
1.0×10-7～1.0×105Pa
測定原理の異なる真空計を組み合わせることで広範囲の圧力領域測定を可能にしました。
※表示価格は税込みです
| 測定範囲 | 1.0×105～1.0×10-7Pa |
|---|---|
| センサー | クリスタルゲージ／コールドカソードゲージ |
| 表示 | 7セグメントLED |
| アナログ出力 | DC0～10[V] log出力または複合出力から選択 |
| セットポイント | 3点（1点独立、2点はコモン共通） 接点容量（DC50V、0.12[A]） |
| デジタルインターフェイス | RS485 |
| フランジ | NW25、又はICF70 |
| 電源電圧 | DC22～26[V] |
| 動作時周囲温度 | 0～50[℃] |
| ベーキング温度 | Max 150℃（回路は取り外すこと） |
| 外径寸法 | 94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm]（NW25） |
| 94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm]（ICF70） | |
| 重量 | 840[g]（NW25） |
| 1060[g]（ICF70） |
- アダプタセット1 AS-1
AC100[V]からCC-10本体への電源供給用
-
【用途】
- 真空蒸着装置
- 光学薄膜生成装置
- 加速装置とUHV研究
- 電子デバイス製造装置
- 高電子工学のデバイス製造装置
