M-923HG 電離真空計
測定範囲 : 10-2~10-9Pa
フランジ : ICF70
1.圧力レンジは自動切換
2.圧力及び種々のメッセージが液晶表示
3.豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作
4.セットポイントを2点標準装備
5.記録計用出力として、D/A出力(仮数、指数、複合、LOGの4出力)を標準装備
6.APC用に、便利なレンジホールド機能を標準装備の為、設定圧力レンジへの固定/解除が可能
APC用の信号としてD/A出力とは別個に高速応答のアナログ出力を用意
7.ガス種による比感度の設定が可能
キヤノンアネルバ株式会社
※表示価格は税込みです
- M-923HG電離真空計
- 測定球NIG-2Fヌードイオンゲージ球
- ヌードイオンゲージ用ケーブル(5m)
RoHS規制にも対応しております。
【用途】
- 自動化真空装置の圧力計測
- スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
- マルチチャンバシステムでの圧力測定
- 一般真空装置の圧力測定

























































