真空計・圧力計

M-923HG 電離真空計

超高真空領域測定用
測定範囲 : 10-2~10-9Pa
フランジ : ICF70

1.圧力レンジは自動切換
2.圧力及び種々のメッセージが液晶表示
3.豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作
4.セットポイントを2点標準装備
5.記録計用出力として、D/A出力(仮数、指数、複合、LOGの4出力)を標準装備
6.APC用に、便利なレンジホールド機能を標準装備の為、設定圧力レンジへの固定/解除が可能
 APC用の信号としてD/A出力とは別個に高速応答のアナログ出力を用意
7.ガス種による比感度の設定が可能

キヤノンアネルバ株式会社

※表示価格は税込みです

M-923HG_NIG-2F

NIG-2F+ケーブル5m

参考価格:¥892,100

販売価格:お問合わせ下さい

数 量:
  • M-923HG電離真空計
  • 測定球NIG-2Fヌードイオンゲージ球
  • ヌードイオンゲージ用ケーブル(5m)

RoHS規制にも対応しております。

【用途】

  • 自動化真空装置の圧力計測
  • スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
  • マルチチャンバシステムでの圧力測定
  • 一般真空装置の圧力測定