ガス導入系
表示器付 マスフローコントローラ/マスフローメータ
□表示設定器搭載でDC24V単一電源のみで動作が可能
□継手は1/4SWLです。
※ご注文の際にはご使用される圧力の指定をお願いします。
※使用流体はN2で記載しておりますが、他のガスでも校正可能です。
※校正温度20℃
コフロック株式会社
※表示価格は税込みです
| センサ方式 | 熱式巻線センサ |
|---|---|
| フルスケール流量 (N2換算) | 10SCCM～20SLM(任意に選択) |
| バルブ方式 | 比例ソレノイドバルブ(非通電時：閉) |
| 制御範囲 | 2～100％F.S. |
| 応答性 | 2sec以内(within±2% F.S.) |
| 精度 | ±1% F.S.(25℃) |
| 温度係数 | ±0.1％F.S./℃(15～35℃) |
| 再現性 | ±0.5％F.S. |
| 動作差圧範囲 | F.S.≦5SLM 50～300kPa F.S.>5SLM 100～300kPa |
| 入口最大圧 | 500kPa(G) |
| 耐圧 | 1MPa(G) |
| 許容周囲温度 | 5～45℃ |
| 許容保存温度 | -10〜60℃ |
| 許容周囲湿度 | 10～90%RH(結露なきこと) |
| 接ガス部材質 | SUS316,SUS316L,磁性ｽﾃﾝﾚｽ(MFCのみ)、FKM(ｵﾌﾟｼｮﾝNBR or CR) |
| 電気接続 | D-subハーフピッチ20ピン ヒロセ電機DX10M-20S |
| 所要電源 | 24VDC(±10%) 300mA以下 |
| 流量設定入力信号 | 0～5VDC（入力インピーダンス100kΩ以上/4～20mA(入力ｲﾝﾋﾟｰﾀﾞﾝｽ約250Ω) |
| 流量出力信号 | 0～5VDC（負荷抵抗250kΩ以上) 4～20mA （負荷抵抗300Ω以下) |
| デジタル通信 | RS485 |
| 継手(本体口径） | 標準 Rc1/4 ｵﾌﾟｼｮﾝ：1/4SWL、1/8SWL、1/4VCR (9/16-18UNF) |
| 重量 | 約1200g |