ヘリウムリークディテクタ ASMシリーズ
ASM310特徴
オイルフリーポンプ搭載
補助ポンプ排気速度:1.7m<3/sup>/h
操作性に優れたカラータッチ画面
Pfeiffer Vacuum GmbH
※表示価格は税込みです
| 測定可能な質量 | 4He 3He H2 |
|---|---|
| Heに対する排気量 | 1.1l/s |
| 立ち上がり時間 | 2分以内(3.5分/オートキャリブレーション時) |
真空計・圧力計
超高真空マニピュレータ
ガス導入系
蒸着・スパッタ源
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膜厚計
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リークディテクタ
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ASM310特徴
オイルフリーポンプ搭載
補助ポンプ排気速度:1.7m<3/sup>/h
操作性に優れたカラータッチ画面
Pfeiffer Vacuum GmbH
※表示価格は税込みです
| 測定可能な質量 | 4He 3He H2 |
|---|---|
| Heに対する排気量 | 1.1l/s |
| 立ち上がり時間 | 2分以内(3.5分/オートキャリブレーション時) |