ガス導入系
表示器付ローコストマスフローメータ
【特長】
・小型軽量！コンパクト
上部表示器にて流量を直読
ご注文の際にはご使用される圧力の指定をお願いします
※使用流体はN2で記載しておりますが、他のガスでも校正可能です。
コフロック株式会社
※表示価格は税込みです
| センサ方式 | 熱式巻線センサ | |
|---|---|---|
| 流量レンジ (N2換算) | 10SCCM～20SLM | 21～100SLM |
| 精度 | ±2% F.S.(25℃) | ±3%F.S.(25℃) |
| 入口最大圧 | 500kPa(G) | |
| 耐圧 | 1MPa(G) | |
| 許容周囲温度 | 0～50℃ | |
| 許容保存温度 | -10～60℃ | |
| 許容周囲湿度 | 30～80%RH(結露なきこと) | |
| 温度係数 | ±0.2％F.S./℃(15～35℃) | |
| 接ガス部材質 | SUS303、PTFE、FKM(ｵﾌﾟｼｮﾝNBR or CR) | |
| 電気接続 | ﾋﾛｾHR10A-7R-6P(ｹｰﾌﾞﾙ側HR10A-7P-6S) | |
| 接続口径 | 標準：Rc1/4 (その他はご相談下さい) | |
| 所要電源 | 24VDC(±5% )100mA(オプションACアダプタ) | |
| 流量出力信号 | 1～5V、4～20mA(注文時選択) | |
| イベント出力 | NPNオープンコレクタ２点 最大定格30VDC 50mA |
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