LOADLOCK TRANSDUCER (LLT)
・半導体製造などのロードロックに最適な真空トランスデューサ
・電気回路と二種のセンサを一つの筐体に収めることにより1.3×10-3~1.3×105Paの幅広いレンジを測定
日本エム・ケー・エス株式会社
※表示価格は税込みです
継手…NW16、4VCR、8VCRより選択
※RS232
真空計・圧力計
超高真空マニピュレータ
ガス導入系
蒸着・スパッタ源
閉じる
膜厚計
閉じる
リークディテクタ
真空計・圧力計
超高真空マニピュレータ
ガス導入系
蒸着・スパッタ源
閉じる
膜厚計
閉じる
リークディテクタ
真空計・圧力計
超高真空マニピュレータ
ガス導入系
蒸着・スパッタ源
閉じる
膜厚計
閉じる
リークディテクタ


日本エム・ケー・エス株式会社
※表示価格は税込みです
継手…NW16、4VCR、8VCRより選択
※RS232