真空ポンプ
Titan イオンポンプシリーズ
油を一切必要としないイオンポンプはクリーンな超高真空(UHV)、極高真空(XHV)の実現と維持のために最適なポンプです。
お客様の用途に合わせエレメントタイプ・排気速度・ポンプデザインを多様に組み合わせることが可能です。
お気軽にお問い合せ下さい！
エドワーズ株式会社
※表示価格は税込みです
| 型式 | 150TV | 300TV | 600TV |
|---|---|---|---|
| 排気速度 (N2) | 150L/s | 300L/s | 600L/s |
| 取付フランジ | ICF152 | ICF203 | ICF203 |
| 重量 | 約32kg | 約65kg | 約109kg |
| オプション | TSPカートリッジ,LN2シュラウド | ||
- ポンプ本体
- MPCコントローラ 型番MPCQ1PS1U1SSNI
1ch HV Polarity:Positive(CV/DI)
コネクタ：10kV SHV
Connections/channel:One Out put
Input Voltage:110V - 接続ケーブル3m 型番SCPSC3SC
Controller Conn:SAFECONN
Pump Connector:SAFECONN
【用途】
- 粒子加速器
- 質量分析
- 表面分析
- 多目的用途の粒子ビームライン
- スペースシュミレーション
- 半導体デバイスの開発、生産