ガス導入系
減圧・常圧プロセス用気化器
・ 液体マスフローメータ LM-3000Lシリーズとの組み合わせにより、各種液体材料(TEOS,TEB,TEPO,etc) を精密流量制御すると同時に高効率で気化
・ピエゾバルブ採用
・常圧プロセスから減圧プロセスまで対応
・ 最高160℃の加熱が可能
・ コンパクトなボディサイズ
・ピエゾバルブ採用
・常圧プロセスから減圧プロセスまで対応
・ 最高160℃の加熱が可能
・ コンパクトなボディサイズ
リンテック株式会社
※表示価格は税込みです
| 項目 | 型式 | 仕様 |
|---|---|---|
| 最大流量（TEOS換算） | 7.0g/min (6.0cc/min) ※液種により異なる | |
| キャリアガス流量 | MAX 14 SLM | |
| コントロールバルブ | ピエゾアクチュエーター、ノーマリーオープン | |
| シャットオフバルブ | 空圧アクチュエータ、ノーマリークローズ | |
| 最高使用温度 | 160℃ | |
| 質量 | 約 1.4kg | |
| 耐圧（ゲージ圧） | 1 MPa G | |
| リークレート | 1 x 10 -11 Pa・m 3 /sec （He） | |
| 標準継手 | プリカーサ入口 | 3.2 (1/8) VCR male |
| キャリアガス入口 | 6.35 (1/4) VCR male | |
| 気化ガス出口 | 6.35 (1/4) VCR female | |
| 最大消費電力 | 120V A.C 単相 50W 2本並列 100V 印加時 70W |
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| 240V A.C 単相 50W 2本直列 200V 印加時 70W |
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| 温調用熱電対 | K Type (CA) | |
| 内蔵サーマルスイッチ（異常加熱アラーム） | 高温 | 180°C ±15°C オープン (AC120V/5A、250V/2.5A) |
| 低温 | 60°C ±2.8°C クローズ (AC120V/5A、250V/2.5A) |
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| 接液、接ガス部材質 | SUS316L、Au、Ni-Co、ポリイミド | |
| 取付方向 | キャリア入口 又は 空圧アクチュエーター 上方 | |
| 標準付属品 | LM-VU接続ケーブル | CC-LV-4-1M |
| ※VU-206-A (汎用タイプ) のみ | 熱電対コネクタ | CMP02-K (RKC) |
| ヒーター用コネクタ | SRCN6A13-3S (JAE) | |
| サーモスイッチ用コネクタ | SRCN6A13-5S (JAE) |