真空計・圧力計
クリスタルイオンゲージセット
・クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ
・4×10-7Paから大気圧（ICFフランジの場合）
・高再現性
・4×10-7Paから大気圧（ICFフランジの場合）
・高再現性
キヤノンアネルバ株式会社
※表示価格は税込みです
| 圧力測定範囲 | 4×10-8～1×105Pa※1 ※１:測定下限圧力は、B-Aゲージの軟X線限界を示します。 |
|---|---|
| 入力電圧 | DC+20～28V |
| 消費電力 | 12W |
| アナログ出力 | 0～10V |
| セットポイント | 2接点出力 (DC30V, 1A) |
| 使用温度範囲 | 5～50℃ |
| 保存温度範囲 | -20～70℃ (非動作時) |
| センサー型名 | MX-1 |
| センサー材質 |
フィラメント：Y2O3/Ir ケース：SUS304 |
| 外径寸法 | 149×70×50 (NW25) |
| フランジ形状 | NW16、NW25、NW40、φ70ICF |
- クリスタルイオンゲージ本体
- 表示器 (1ch)
- 表示器用ケーブル(5m)
- ACケーブル
*ゲージはRS485タイプもあります
*表示器は3chタイプもあります