ガス導入系
大流量・エコノミーマスフローコントローラ
魅力あるコストで、微少流量から大流量まで対応！
●工業炉・熱処理炉用のバーナーガス制御
●ロー付けバーナーガス制御
●各種チャンバーの雰囲気ガス制御
高速応答
流量設定値まで1秒以内
高精度
±1.0%F.S.以内
高信頼性
オートゼロアジャスト機能搭載
株式会社堀場エステック
※表示価格は税込みです
| 対応ガス種 *1 | 非腐食性ガス(MK3モデルはN2、O2、Air、H2、Ar、Heに対応) |
|---|---|
| 接ガス部材質 | SUS316L、SUS316、バイトン、PTFE、磁性ステンレス |
| バルブ型式 | 非通電時 閉 |
| 標準流量レンジ (N2相当F.S.) |
10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM |
| 流量制御範囲 (SECシリーズに対応) |
2～100% F.S. |
| 流量計測範囲 (SEFシリーズに対応) |
0～100% F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1% F.S. |
| 直線性 | ±0.5% F.S. |
| 繰返性 | ±0.2% F.S. |
| 動作差圧 (SECシリーズに対応) |
10 SCCM～5 SLM:50～300kPA(d) 10～30 SLM:100～300kPa(d) |
| 使用圧力 (SEFシリーズに対応) |
300kPa(G)以下 |
| 耐圧 | 1MPa(G)以下 |
| 外部リークレート | 1×10-10Pa・m3/s(He)以下 *3 |
| 使用可能周囲温度 | 5～50℃(精度保証：15～35℃) |
| 流量設定信号 | 0.1～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)/2～100% F.S. |
| 流量出力信号 | 0～5VDC(最小負荷抵抗2kΩ) |
| 駆動電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA |
| 標準継手 *2 | 1/4スウェージロック タイプ |
*1：記載以外のガス種については、別途お問い合せください。
*2：標準継手以外の対応も可能です。別途お問い合せください。
*3：機械的リーク(SEMI E16-90)
・マスフローコントローラ SEC-E40MK3
・制御ユニット PE-D20
・信号ケーブル3m SC-EDH-3M