ガス導入系
デジタルマスフローコントローラ
流量精度の向上
セッチポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載
全流量域にわたる高速応答
新開発のVariable PIDアルゴリズムを搭載：フルレンジ1秒以内
マルチレンジ・アルチガス機能を搭載
専用ソフトウェアを用い、簡単操作で仕様変更が可能
セッチポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載
全流量域にわたる高速応答
新開発のVariable PIDアルゴリズムを搭載：フルレンジ1秒以内
マルチレンジ・アルチガス機能を搭載
専用ソフトウェアを用い、簡単操作で仕様変更が可能
株式会社堀場エステック
※表示価格は税込みです