真空ポンプ
イオンポンプ
振動を嫌う装置にオススメ
磁場中で冷陰極放電を起こす事により、電離された気体分子が陰極に埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用した排気を行う超高真空ポンプです。
※このイオンポンプには電源が別途必要になります。
キヤノンアネルバ株式会社
※表示価格は税込みです
| 商品番号 | 912-7125 | 912-7135 | 912-7165 |
|---|---|---|---|
| 排気速度 | 20L/s(N2) | 30L/s(N2) | 60L/s(N2) |
| 動作範囲(Pa) | 10-3～10-9 | 10-3～10-9 | 10-3～10-9 |
| 起動可能圧力※ | 1x10-2Pa以下 | 1x10-2Pa以下 | 5x10-3Pa以下 |
| 内容積 | 1.4L | 2.2L | 6.2L |
| 最大加熱温度 | 300℃ | 300℃ | 300℃ |
| 吸入口 | ICF70 | ICF114 | ICF152 |
| 電流導入端子 | 交換不可 | 954-7281 | 954-7281 |
| 素子(交換用) | 交換不可 | 交換不可 | 915-7027(1組) |
| マグネット | 912-7121(1個) 本体を含む |
912-7121(1個) 本体を含む |
912-7121(2個) 本体を含む |
| 質量 | 10.5kg | 12.5kg | 25.6kg |
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【用途】
- 完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系
- 超高真空及び極高真空実験装置
- 電子顕微鏡、表面分析装置など各種分析装置の排気系
- 粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置などの排気系
- 電子管などの真空保持ポンプ
- 電子管などの加熱排気装置 など
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【特長】
- 油などの有機物を一切使用していない為、系を汚さず清浄な真空が得られます。 2.超高真空、極高真空
- 10-3Pa～10-9Paの圧力範囲で動作しますので極高真空の作成に最適です。 3.無人運転
- 運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利です。
- また、圧力が10-3～10-2Pa以上になると、自動的に電源OFFするプロテクション回路がついてます。 4.静かな運転
- 機械的に運動する部分が全くないため、完全に無振動・無騒音です。 5.省エネルギー
- 圧力に比例して消費電力が下がってきますので、起動時以外はほとんど電力を消費しません。 7.速い起動
- 取付け方向は、上・下・水平・斜めと制限無し。 10.低漏洩磁場
- 20L/s以上のポンプにはフェライト磁石を使用しています。
- 漏洩磁場は、フランジより30cmの点でほぼ地磁気と同一まで減衰します。
1.完全オイルフリー
8.不活性ガスの排気
9.取付方向自由