ガス導入系
デジタルマスフローコントローラセット
webブラウザにて操作可能
素早い追従性(応答速度：0.755)
日本エム・ケー・エス株式会社
※表示価格は税込みです
| 流量制限範囲 | 2%〜100% F.S. |
|---|---|
| 精度 | ±1% 20〜100% F.S. |
| 再現性 | ±0.3% of Reading |
| 動作温度 | 10℃〜50℃ |
・MFC本体 GE50AxxxyyyzAVO20 or GM50AxxxyyyzAMO20
継手4VCRM、1/4"SWG、流量5～50000sccm
※ガス種をご指定下さい。
・電源表示器 OPT327
・接続ケーブル 3m CB5000-353-03