サーマルタイプマスフローメーター
【特徴】
ニードルバルブ付で簡易的に流量を調整可能
積算流量表示可能
株式会社フジキン
※表示価格は税込みです
| フルスケール流量 | 10sccm~20slmより選択 |
|---|---|
| 精度 | フルスケールの±2.0% |
| 使用温度 | 0℃~50℃(精度保証15℃~35℃) |
| 継手 | 1/4"F900食込み継手or1/4"UJR継手 |
| ガス種 | N2/Ar/He/O2/CO等(他問い合わせ下さい。) |
| 入口圧 | 200KPaG!! |
真空計・圧力計
超高真空マニピュレータ
ガス導入系
蒸着・スパッタ源
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膜厚計
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リークディテクタ
真空計・圧力計
超高真空マニピュレータ
ガス導入系
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【特徴】
ニードルバルブ付で簡易的に流量を調整可能
積算流量表示可能
株式会社フジキン
※表示価格は税込みです
| フルスケール流量 | 10sccm~20slmより選択 |
|---|---|
| 精度 | フルスケールの±2.0% |
| 使用温度 | 0℃~50℃(精度保証15℃~35℃) |
| 継手 | 1/4"F900食込み継手or1/4"UJR継手 |
| ガス種 | N2/Ar/He/O2/CO等(他問い合わせ下さい。) |
| 入口圧 | 200KPaG!! |