ガス導入系
ガス混合装置 MU series
簡単に複数成分のガス濃度が作れる
安定した濃度のガス発生
質量流量制御により供給圧力・環境温度変化の影響を受けずに正確な濃度の混合ガスが発生できます。
多様なガス種への対応
マルチガス・マルチレンジ機能モデルのマスフローコントローラを搭載していますので、ガス種・流量レンジの変更がお客様にて実施いただけます。
簡単操作
専用ソフトにより、発生ガス流量・ガス濃度の設定が簡単に行えます。
プログラム機能を付帯していますので、お好みのレシピ作成が可能です。
幅広い流量レンジに対応
微少流量（数SCCM）から大流量まで幅広い流量レンジに対応しています。
安定した濃度のガス発生
質量流量制御により供給圧力・環境温度変化の影響を受けずに正確な濃度の混合ガスが発生できます。
多様なガス種への対応
マルチガス・マルチレンジ機能モデルのマスフローコントローラを搭載していますので、ガス種・流量レンジの変更がお客様にて実施いただけます。
簡単操作
専用ソフトにより、発生ガス流量・ガス濃度の設定が簡単に行えます。
プログラム機能を付帯していますので、お好みのレシピ作成が可能です。
幅広い流量レンジに対応
微少流量（数SCCM）から大流量まで幅広い流量レンジに対応しています。
株式会社堀場エステック
※表示価格は税込みです