真空計・圧力計
ピエゾ/ピラニー真空計
ロードロック室の圧力モニターにオススメ
大気圧付近でのガス種依存性無し
差圧測定可能なため安全に大気開放できます。
1.0×103Pa～1.33×105Pa
日本エム・ケー・エス株式会社
※表示価格は税込みです
真空計セット
・901本体 (NW16 or NW25, RS232)
・コントローラー (PDR900)
・ケーブル (3m)
・アナログアウトプットコネクタ付き
・901本体 (NW16 or NW25, RS232)
・コントローラー (PDR900)
・ケーブル (3m)
・アナログアウトプットコネクタ付き