真空計・圧力計
マイクロイオン真空ゲージモジュール
【392】
1×10-7Pa～大気圧までの測定を1台で!
独自の制御技術によるゲージ切換え時の優れた直線性!
【390】
392マイクロイオンプラス真空ゲージ
+ダイアフラムゲージで正確に大気圧付近を測定
1×10-7Pa～大気圧
ロードロック室の真空モニターに
1×10-7Pa～大気圧までの測定を1台で!
独自の制御技術によるゲージ切換え時の優れた直線性!
【390】
392マイクロイオンプラス真空ゲージ
+ダイアフラムゲージで正確に大気圧付近を測定
1×10-7Pa～大気圧
ロードロック室の真空モニターに
日本エム・ケー・エス株式会社
※表示価格は税込みです
| 測定範囲 | 1×10-7Pa〜大気圧 |
|---|---|
| 精度 | 1.3×10-6Pa〜13.3Pa±15% 13.3Pa〜20kPa±10% 20kPa〜133kPa±2.5%(390) 20kPa〜133kPa±5%(392) |
| イオンゲージフィラメント材料 | イリジウム（タングステンコートまたは、イットリアコート） |
| 重量 | 728g |
| 使用温度 | 0℃-40℃ |