超高真空マニピュレータ
中空型直線導入機
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa･m3/sec |
|---|---|
| 真空シール方式 | 溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 | ネジ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 直進力 | 150N |
| 分解能 | 0.1mm |
| 型 式 | Z軸移動距離(mm) Z軸移動精度(mm) |
A接続フランジ B移動フランジ |
C （mm） |
重量 （Kg） |
|---|---|---|---|---|
| ALMB-133/30 | 30 0.5 |
ICF34-FH ICF34-FT |
91～121 | 0.6 |
| ALMB-133/50 | 50 0.5 |
116～166 | 0.7 |