超高真空マニピュレータ
中空Zステージ/ALM4シリーズ
導入系の移動が、大気側から操作できる
ロングストローク、モーター駆動にも対応可能。
ICF114接続で有効内径φ70なので、少し大きい導入系や試料を導入することができます。
※モーター駆動(オプション)…お問い合わせください
※ロングストローク(オプション)…お問い合わせください
ロングストローク、モーター駆動にも対応可能。
ICF114接続で有効内径φ70なので、少し大きい導入系や試料を導入することができます。
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※ロングストローク(オプション)…お問い合わせください
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 型 式 | Z軸移動距離(mm) Z軸移動精度(mm) |
A接続フランジ B移動フランジ |
C （mm） |
D （mm） |
重量 （Kg） |
|---|---|---|---|---|---|
| ALM-4/50 | 50 1 |
ICF114-FH ICF114-FT |
150～200 | 222 | 10 |
| ALM-4/100 | 100 1 |
160～260 | 282 | 12 | |
| ALM-4/150 | 150 1 |
185～335 | 357 | 14 | |
| ALM-4/200 | 200 1 |
220～420 | 442 | 16 | |
| ALM-4/300 | 300 1 |
227～527 | 549 | 18 | |
| ALM-4/400 | 400 1 |
245～645 | 667 | 22 | |
| ALM-4/500 | 500 1 |
300～800 | 822 | 25 |