超高真空マニピュレータ
中空Zステージ/ALM275シリーズ
各種真空装置における超高真空での導入系の移動が、大気側から操作できるスタンダードタイプの中空Zステージです。(有効内径)
※モーター駆動(オプション)
※ロングストローク（オプション）
※オプションはお問い合わせください。
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa･m3/sec |
|---|---|
| 真空シール方式 | 溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 | ネジ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 中空型 | φ39mm |
| 型式 | Z軸移動距離(mm) Z軸移動精度(mm) |
A接続フランジ B移動フランジ |
C(mm) | D(mm) | 重量(Kg) |
|---|---|---|---|---|---|
| ALM-275-1/25 | 25mm 1mm |
ICF70-FH ICF70-FT |
85～110 | 179 | 3 |
| ALM-275-1/50 | 50mm 1mm |
85～135 | 204 | 3.1 | |
| ALM-275-1/100 | 100mm 1mm |
105～205 | 274 | 3.5 | |
| ALM-275-1/150 | 150mm 1mm |
130～280 | 349 | 4.5 | |
| ALM-275-1/200 | 200mm 1mm |
160～360 | 429 | 4.9 | |
| ALM-275-1/250 | 200mm 1mm |
190～440 | 509 | 5.5 | |
| ALM-275-1/300 | 300mm 1mm |
210～510 | 579 | 5.8 |