超高真空マニピュレータ
チルトステージ ATSシリーズ
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 許容リーク量 | ≦1.33x10-11Pa・m3/sec |
|---|---|
| 真空シール方式 | 溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 | ネジ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ マイクロメーター部除く |
| 型 式 | A接続フランジ B移動フランジ |
C内径 （mm） |
D （mm） |
E （mm） |
F （mm） |
G （mm） |
H （mm） |
傾斜角 | 重量 （Kg） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ATS-275 | ICF70-FH ICF70-FT |
φ38 | 118±6.5 | 45 | 80 | φ110 | 160 | ±5° | 2 |
| ATS-4 | ICF114-FH ICF114-FT |
φ70 | 129±6.5 | 53 | 95 | φ155 | 205 | 4.7 |