超高真空マニピュレータ
中空Zステージ ALMS275シリーズ
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa･m3/sec |
|---|---|
| 真空シール方式 | 溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 | ネジ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 型 式 | Z軸移動距離(mm) Z軸移動精度(mm) |
A接続フランジ B移動フランジ |
C （mm） |
D （mm） |
E （mm） |
重量 （Kg） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ALMS-275-1/25 | 25 0.1 |
ICF70-FH ICF70-FT |
85～110 | 170～195 | 136 | 2.4 |
| ALMS-275-1/50 | 50 0.1 |
85～135 | 195～245 | 2.6 | ||
| ALMS-275-1/75 | 75 0.1 |
90～165 | 220～295 | 2.8 | ||
| ALMS-275-1/100 | 100 0.1 |
105～205 | 245～345 | 3.1 | ||
| ALMS-275-1/150 | 150 0.1 |
120～270 | 295～445 | 3.6 | ||
| ALMS-4/275-1/25 | 25 0.1 |
ICF114-FH ICF70-FT |
85～110 | 170～195 | 180 | 3.4 |
| ALMS-4/275-1/50 | 50 0.1 |
85～135 | 195～245 | 3.6 | ||
| ALMS-4/275-1/75 | 75 0.1 |
90～165 | 220～295 | 3.8 | ||
| ALMS-4/275-1/100 | 100 0.1 |
105～205 | 245～345 | 4.1 | ||
| ALMS-4/275-1/150 | 150 0.1 |
120～270 | 295～445 | 4.6 |