超高真空マニピュレータ
回転導入機 ARM
真空中の回転運動が大気側から操作できる回転導入機です。
シャッター用などにお使い頂けます。
・圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
・マグネットカップリング方式を採用
・真空側軸受けには長寿命なドライ潤滑ベアリングを採用
・ストッパーにより任意の角度設定が可能
株式会社エイブイシー
※表示価格は税込みです
| 許容リーク量 | ≦1.33x10-11Pa・m3/sec |
|---|---|
| 駆動方式 | マグネットカップリング方式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 型 式 | A接続フランジ |
移動軸径 (mm) |
C （mm） |
D （mm） |
E （mm） |
回転トルク(Nm) |
重量 （Kg） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ARM-133 | ICF34-FH | φ6(g6) | 104.5 | 50 | φ39 | 0.1 | 0.3 |
| ARMH-133 | 0.4 | ||||||
| ARM-275 | ICF70-FH | φ8(g6) | 151.5 | φ65 | 1.7 | 2.4 |